L'Université de Tohoku et Rigaku créent un institut de recherche conjoint sur la métrologie par rayons X

L'Université de Tohoku et Rigaku Corporation, filiale du groupe Rigaku Holdings, ont récemment annoncé la création, le 1er août 2026, de l'« Institut de recherche conjoint Rigaku・Université de Tohoku sur la métrologie par rayons X Beyond The Limits » au sein de l'Université de Tohoku, avec le lancement de recherches communes. L'institut est établi pour une durée de trois ans, jusqu'au 31 juillet 2029, avec une éventuelle prolongation en fonction des résultats de recherche.

Selon les informations fournies, le nouvel institut concentrera ses travaux sur la modernisation des technologies de métrologie par rayons X, l'établissement de nouvelles méthodes de mesure et la formation de la prochaine génération de chercheurs. Avec la miniaturisation, la multiplication des couches et la diversification des matériaux des dispositifs à semi-conducteurs, les processus de fabrication deviennent de plus en plus complexes, et la demande d'évaluation non destructive et de haute précision des matériaux et des structures ne cesse de croître. Les méthodes de mesure existantes rencontrent des limites dans l'évaluation des structures fines et l'analyse précise des structures en profondeur, ce qui fait du développement de nouvelles méthodes telles que les rayons X mous une orientation importante.

L'institut exploitera les atouts de l'installation de rayonnement synchrotron de nouvelle génération « NanoTerasu » de l'Université de Tohoku dans le domaine des rayons X mous pour développer des technologies de métrologie destinées aux structures fines, et combinera les bases de recherche en sciences de l'information de l'Université de Tohoku avec l'expérience de Rigaku en métrologie par rayons X pour faire progresser la modernisation des méthodes d'analyse de données. Les deux parties ont indiqué que la recherche ne se limitera pas à un seul thème, mais s'orientera vers différents domaines et objets nécessitant une métrologie par rayons X, afin d'explorer des problèmes de mesure que les technologies traditionnelles peinent à résoudre.

Dans un premier temps, l'institut privilégiera la mise en œuvre pratique de la métrologie par rayons X mous dans le secteur des semi-conducteurs, ainsi que le renforcement des capacités d'analyse de données grâce aux sciences de l'information. Les résultats devraient également être étendus à l'avenir à des domaines tels que les matériaux électroniques et les matériaux fonctionnels, où une connaissance précise des structures fines et de l'état des matériaux est nécessaire.

La formation des talents constitue également une mission importante de cet institut. Les deux parties prévoient d'offrir des opportunités d'apprentissage systématique couvrant les fondamentaux de la métrologie par rayons X, ainsi que les applications aux nouveaux matériaux et aux nouvelles structures, et envisagent d'intégrer ces contenus dans des cursus officiels pouvant être crédités. Parallèlement, Rigaku mettra en place un système de bourses destiné aux étudiants diplômés travaillant sur des sujets de recherche liés aux rayons X, afin de soutenir l'élaboration de leurs thèses et de favoriser la conversion des résultats en technologies de métrologie pratiques.